F-Theta लेन्सहरू सामान्यतया लेजर उत्कीर्णन, काट्ने र मार्किङ प्रणालीहरूमा ग्याल्भानोमिटर स्क्यानिङ मिररहरूसँग संयोजनमा प्रयोग गरिन्छ। सामान्यतया लेन्सको F-Theta विकृति १% भन्दा कम राखिएको हुन्छ ताकि यसले छवि समतलमा समतल क्षेत्रमा सटीक स्थान उत्पादन गर्न सक्षम होस्।
व्यास सहनशीलता: +०/-०.१३ मिमी
मोटाई सहनशीलता: ±०.२५ मिमी
फोकल लम्बाइ सहनशीलता: ±२%
किनाराको मोटाई भिन्नता (ETV): ≤3 चाप न्यूनतम।
सफा एपर्चर: >९०%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
सतह गुणस्तर: ४०-२० एसडी
AR कोटिंग: R <०.२% प्रति सतह @१०.६μ